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製造メーカー
NANOSENSORS
F [kHz]
6
5000
6
5000
6 — 5000
6
10
11
13
14
15
17
18
19
23
25
27
28
30
40
45
50
60
65
67
70
75
80
85
90
110
130
135
150
155
160
190
200
205
210
250
285
300
320
325
330
335
400
420
450
800
1200
1500
1600
2000
5000
C [N/m]
0.01
100
0.01
100
0.01 — 100
0.01
0.03
0.05
0.06
0.08
0.09
0.1
0.15
0.18
0.2
0.27
0.3
0.32
0.4
0.48
0.5
0.6
0.7
0.8
1
1.6
2
2
2.5
2.7
3
5
5.4
6.2
6.5
7
7.3
7.4
8.9
9
9
15
16
18
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42
45
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85
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